東京大学
東京大学 大学院 情報理工学系研究科  
close

MEMS技術を用いて試作したピエゾ抵抗型差圧センサー

センサーの上面と下面の圧力差によって梁が歪み、梁の抵抗値が変化することで差圧を計測する。センサーの大きさは1.5mm×1.5mm×0.3mm、重量は20mg。昆虫サイズの翼面に搭載することが可能な大きさ・重量である。センサーの感度は1Pa以下で、昆虫サイズの翼面で発生する圧力差を高い分解能で計測できる



大学院 情報理工学系研究科 お問い合せ先 東京大学