知能機械情報学専攻の下山勲 教授のグループは、MEMSの技術を使い、有機材料の膜内に片持ち梁式(カンチレバー)の触覚センサーを多数配置した新しいセンサー膜を開発した。2006年1月22日から26日にトルコのイスタンブールで開催された「The
19th IEEE International Conference
on Micro Electro Mechanical Systems」
(MEMS 2006)で同研究室の野田堅太郎氏(修士2年)が発表した。カンチレバー部分はシリコンの製造プロセスで多数作成し、これらをシリコン樹脂に埋め込む。樹脂膜に埋め込んだことで、膜面に対するすべり方向の力や、せん断力も検出できるようになった。
(日経BP社産学連携事務局 ライター 齋藤淳)
下山・星野・松本研究室
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